pvd真空镀膜设备厂-金百辰按需定制-绍兴pvd真空镀膜设备

金百辰智能科技（浙江）有限公司从事汽车零部件、家电类、机械配件等塑胶成型与pvd镀膜工艺加工。

pvd真空镀膜设备与您分享电子束蒸发

电子束蒸发是将镀膜材料放入水冷铜坩埚中，用高能密度的电子束轰击镀膜材料而使其蒸发的一种方法。蒸发源由电子发射源、电子加速电源、坩埚(通常是铜坩埚)磁场线圈、冷却水套等组成。在该装置中，被加热的物质放置于水冷的坩埚中，pvd真空镀膜设备价格，电子束只轰击其中很少的一部分物质，其余的大部分物质在坩埚的冷却作用下一直处于很低的温度，可以看作被击部分的坩埚。因此，电子束加热蒸发的方法可以避免镀膜材料和蒸发源材料之间的污染。

电子束蒸发源的结构形式可以分为直式(布尔斯)、环形(电偏转)和e形(磁偏转)3种。在一个蒸发装置内可以安置一个或者多个坩埚，这可以同时或者分别蒸发沉积多种不同物质。电子束蒸发源有下述优点:

1、电子束轰击蒸发源的束流密度高，能获得远比电阻加热源的能量密度，可以蒸发高熔点材料，如w，mo，a1203等:

2、镀膜材料置于水冷铜坩埚中，可以避免发源 材料的蒸发，以及两者之间的反应;

3、热量可以直接加到镀膜材料的表面，使得热，热传导和热辐射的损失少.电子束加热蒸发方式的缺点是电子发出的一次电子和镀膜材料表面发出的二次电子会使蒸发原子和残余气体分子电离，这有时候会影响膜层。

金百辰智能科技（浙江）有限公司从事汽车零部件、家电类、机械配件等塑胶成型与pvd镀膜工艺加工。

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1.冷阴极电弧 阴极电弧技术是在真空条件下，通过低电压和高电流的弧光放电将靶材气化、离化成等离子体状态，从而实现薄膜材料的沉积。近阴极电弧蒸发源有新的发展，主要是通过有效强制冷却和电磁场的设计，在两者共同作用下，使靶材的离化率更高，薄膜性能优异。

2.磁过滤阴极弧 配以的电磁过滤系统，将电弧产生的等离子体中的中性宏观粒子、分子团等大颗粒过滤干净，经磁过滤后沉积粒子的离化率达100%，因此制备的薄膜非常致密和平整光滑，具有抗腐蚀性能好，与基体的结合力---。

3.柱状或平面状大面积电弧源 ---高离化率的同时，减少大颗粒沉积的比例，达到既有好的附着力，pvd真空镀膜设备多少钱，又有较好的表面光洁度效果。

4.中频磁控溅射 增加离化率，pvd真空镀膜设备厂，减少电荷积累引起的异常放电，预防靶表面现象，沉积工艺更稳定。