真空镀膜加工时为什么会出现产品掉膜的现象呢?今天英利悦电子的小编就累为您解释下,真空镀膜掉膜的原因。
真空电镀加工时产生掉膜的原因很多也很复杂。处理起来很棘手,可以考虑从以下几个方面排除:
1、表面清洁度
产品表面洁净度不够,可以考虑离子源清洗时气放大、时间长点。
2、清洗过程中的问题
镀前清洗不---,或更换了清洗液。
3、工艺的问题
工艺参数是否有变动,在镀膜时间和电流上做适当调整。
4、靶材的问题
钛靶是否,检查和更换。
5、真空腔是否漏气
进行一次捡漏。
6、产品表面氧化
氧化的原因很多,可以自行判断处理。
维护和保养方法
1、真空镀膜设备每完成200个镀膜程序以上,应清洁工作室一次。
方法是:用(naoh)饱和溶液反复擦洗真空室内壁,( 注意人体皮肤不可以直接接触溶液,以免灼伤)目的是使镀上去的膜料铝(al)与naoh发生反应,反应后膜层脱落,并释放出氢气。再用清水清洗真空室和用布沾清洗精抽阀内的污垢。
2、当粗抽泵(滑阀泵,旋片泵)连续工作一个月(雨季减半),需更换新油。
方法是:拧开放油螺栓,放掉旧油,再将泵启动数秒,使泵内的旧油完全排放出来。拧回放油螺栓,加入新油至额定量(油视镜观察)。连续使用半年以上,换油时应将油盖打开,用布擦干净箱内污垢。
3、扩散泵连续使用6个月以上,抽速明显变慢,或操作失当,充入---,拆去联结水管,卸下电炉盘,轮毂镀膜技术,将一级喷嘴拧出,先用将泵腔及泵胆清洗一遍,再用洗衣粉兑水清洗一遍,然后用清水清洗干净,待水份挥发干以后,装好泵胆,加入新扩散泵油,并装回机体,接好水管,装好电炉盘,便可以重新开机。在重新开机前,要注意检漏工作。方法是:启动维持泵,关好大门,数分钟后,观察扩散泵部分真空度是否达到6x10帕,否则要进行检漏。检查联接处是否装密封胶圈,或压坏密封圈。排除漏气---后方可加热,否则扩散泵油会烧环,轮毂镀膜,无法进入工作状态。
溅射镀膜基本原理是充(ar)气的真空条件下,使气进行辉光放电,汽车轮毂镀膜设备,这时(ar)原子电离成离子(ar+),离子在电场力的作用下,加速轰击以镀料制作的阴极靶材,靶材会被溅射出来而沉积到工件表面。如果采用直流辉光放电,称直流(qc)溅射,射频(rf)辉光放电引起的称射频溅射。磁控(m)辉光放电引起的称磁控溅射。 电弧等离子体镀膜基本原理是在真空条件下,用引弧针引弧,轮毂镀膜机,使真空金壁(阳极)和镀材(阴极)之间进行弧光放电,阴极表面快速移动着多个阴极弧斑,不断迅速蒸发甚至“异华”镀料,使之电离成以镀料为主要成分的电弧等离子体,并能迅速将镀料沉积于基体。因为有多弧斑,所以也称多弧蒸发离化过程。
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