真空手套箱用磁控溅射离子镀技术为黄铜电镀亮铬的卫生洁具镀制zrn膜。真空手套箱设备采用基材为锆的非平衡磁控溅射靶和中频电源，以及脉冲偏压电源。
(1)抽真空
5 x 10-3～6.6 x 10-13pa本底真空。真空手套箱设备加热温度应在真空室器壁放气后又回升到100～150℃。
(2)轰击清洗
真空度：通---真空度保持在2～3pa。轰击电压：800～1000v，脉冲占空比20%。轰击时间：10min。
(3)手套箱
沉积锆底层
真空度：通入气，真空度保持在s x l0-1pa。靶电压：400—550v，靶功率15 n 30w/crrr2。脉冲偏压：450～500v，占空比20 %。手套箱时间：5～10min。
镀zrn膜
真空度：通入氮气，真空度保持在(3～5) x 10-1pa。靶电压：400～550v，轮毂镀膜机，靶电流随靶的面积增大而加大。脉冲偏压：150～200v，占空比80 %。手套箱时间：20～30min。
由于真空手套箱磁控溅射技术中金属离化率低，永康轮毂镀膜，不容易进行反应沉积，宝马轮毂镀膜，获得化合物膜层的工艺范围比较窄。真空手套箱设备可采用气体离子源将反应气体离化，扩大反应沉积的工艺范围。也可以采用柱状弧源产生的弧等离子体作为离化源，柱状弧源还是辅助手套箱源。
pvd 镀膜工艺起源于国外，在行业发展初期，镀膜设备和镀膜材料的配套以国外厂商为主。国外 pvd 镀膜材料厂商的镀膜材料经过与下游客户的镀膜设备、镀膜工艺的长期磨合，各项性能指标与客户的匹配性已较好，具有较强的先发优势，因此，长期以来 pvd 镀膜材料研制和生产主要集中于美国、日本和德国少数公司，产业集中度较高。
高纯溅射靶材属于典型的技术密集型产业，研发生产设备性强。在一定程度上，半导体工业的区域集聚性造就了高纯溅射靶材生产企业的高度---。自诞生之日起，以美国、日本为代表的高纯溅射靶材生产企业便对技术执行严格的保密措施，导致溅射靶材行业在范围内呈现明显的区域集聚特征，生产企业主要集中在美国和日本。
真空镀膜设备使用步骤
1电控柜的操作
1)开水泵、气源
2)开总电源
3)开维持泵、真空计电源，真空计档位置v1位置，等待其值小于10后，再进入下一步操作。约需5分钟。
4)开机械泵、予抽，开涡轮分子泵电源、启动，轮毂贴电镀膜，真空计开关换到v2位置，抽到小于2为止，约需20分钟。
5)观察涡轮分子泵读数到达250以后，关予抽，开前机和高阀继续抽真空，抽真空到达一定程度后才能开右边的高真空表头，观察真空度。真空到达2×10-3以后才能开电子电源。
轮毂镀膜机-金百辰(在线咨询)-永康轮毂镀膜由金百辰智能科技（浙江）有限公司提供。金百辰智能科技（浙江）有限公司为客户提供“pvd真空镀膜镀膜”等业务，公司拥有“金百辰”等品牌，---于机械加工等行业。，在浙江省金华市磐安县尖山镇浙江磐安工业园区三洲路6号的名声---。欢迎来电垂询，联系人：蒋。
联系我们时请一定说明是在100招商网上看到的此信息，谢谢！
本文链接：https://tztz337365.zhaoshang100.com/zhaoshang/283284500.html
关键词：
滇公网安备 53011202000392号