pvd金属真空镀膜-pvd真空镀膜-金百辰真空镀膜

真空手套箱用磁控溅射离子镀技术为黄铜电镀亮铬的卫生洁具镀制zrn膜。真空手套箱设备采用基材为锆的非平衡磁控溅射靶和中频电源，pvd真空镀膜原理，以及脉冲偏压电源。

(1)抽真空

5 x 10-3～6.6 x 10-13pa本底真空。真空手套箱设备加热温度应在真空室器壁放气后又回升到100～150℃。

(2)轰击清洗

真空度：通---真空度保持在2～3pa。轰击电压：800～1000v，脉冲占空比20%。轰击时间：10min。

(3)手套箱

沉积锆底层

真空度：通入气，真空度保持在s x l0-1pa。靶电压：400—550v，靶功率15 n 30w/crrr2。脉冲偏压：450～500v，占空比20 %。手套箱时间：5～10min。

镀zrn膜

真空度：通入氮气，真空度保持在(3～5) x 10-1pa。靶电压：400～550v，pvd真空镀膜，靶电流随靶的面积增大而加大。脉冲偏压：150～200v，占空比80 %。手套箱时间：20～30min。

由于真空手套箱磁控溅射技术中金属离化率低，不容易进行反应沉积，获得化合物膜层的工艺范围比较窄。真空手套箱设备可采用气体离子源将反应气体离化，扩大反应沉积的工艺范围。也可以采用柱状弧源产生的弧等离子体作为离化源，柱状弧源还是辅助手套箱源。